專業，始於最精準的解答
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亞矽的機器手臂適用於：
1. 超潔淨等級無塵室
2. 高真空
3. 超高真空 -
MICRONICFABS®
1. 中介設備支援
2. 終端設備支援
應用於：
- 超潔淨等級無塵室
- 高真空與薄膜製成
產品資訊
請選擇以下產品類別：
VARIO
優異的SCARA機械手臂加上備受肯定的技術，兩者持續開發下生產出新一代Vario機械手臂。和SCARA一樣，VARIO的驅動力，可在機器手臂沒有動力傳輸的情況下運作，因此不會產生任何造成中斷或損壞機器手臂區域的熱能。
機械特性
- 低微粒設計
- 無震動產生
- 能符合超高潔淨需求
- 驅動單元具備優異的高動能和最佳的精密度
技術
- 亞矽機械手臂驅動器能完美應用於高速移動和其移動範圍
- 能有效增加產能，減少品質劣化
- 能與所有常見的PLC(Programmable Logic Controller) 運作和匯流排系統進行通訊
VARIO機械手臂能適用於真空系統與大氣(非真空)系統，兩者皆具有相同的優異性，能在UHV (Ultra High Voltage) 範圍內有效執行任何工作。使用最新一代VARIO機械手臂，您可以因應設施中所有關於潔淨、動能、精密、真空技術和控制整合領域的難題。
JUMBO
JUMBO是全球半導體領域中，最大與最堅固的機械手臂，除了有出色的規格、範圍和負載量之外，更具備傑出的動能和精密度。
機械特性
- 超潔淨標準需求
- 不會排放可追蹤的碳氫化合物
- 無震動產生
- 在ISO 5等級的潔淨室中完成組裝和測試
- 驅動單元具備優異的高動能和最佳的精密度
技術
- 亞矽機械手臂驅動器能完美應用於高速移動和其移動範圍
- 能有效增加產能，減少品質劣化
- 能與所有常見的PLC運作和匯流排系統進行通訊
- 機械手臂可依客戶的控制裝置來操作
JUMBO也適用於大氣(非真空)系統和真空環境。兩種皆具相同的負載量、動能和精密度。真空機械手臂能無限制地在UHV環境中運作，而且不會排放任何碳氫化合物。亞矽機械手臂具有德國製造的優良品質，無論在半導體、太陽能或生命科學領域，您都可以放心與廣泛地運用。
SCARA
SCARA機械手臂耐用可靠，過去15年深受用戶肯定，因此更激勵我們持續不斷開發、改善功能，至今，它仍是亞矽表現最好、效能最佳的機械手臂。
機械特性
- 已在全球售出超過4000部機械手臂
- 持續不斷的研究和開發
- SCARA提供向下相容性的更新。新客戶不僅能享受此資訊的 好處，使用舊版機械手臂的客戶也能存取並套用此一實用資訊
- 基本驅動元件可針對各種不同的Z移動量組裝，增加工作空間
- 機器手臂長度可更換，讓客戶應用更廣泛
技術
- 亞矽機械手臂驅動器能完美應用於高速移動和其移動範圍
- 能有效增加產能，減少品質劣化
- 能與所有常見的PLC運作和匯流排系統進行通訊
SCARA高度可靠性及多種組合方式，一直是我們全球銷量最好的產品。SCARA機械手臂以模組化系統為基礎，可使用許多不同方式來設定，原始設計之初即可在大氣(非真空)或真空的環境使用，而此原始版本還能依客戶的需求調整。甚至，SCARA機械手臂已取得認證，可在ISO3潔淨室中運作。