產品資訊

專業,始於最精準的解答

  • 亞矽的機器手臂適用於:

    1. 超潔淨等級無塵室
    2. 高真空
    3. 超高真空

  • MICRONICFABS®

    1. 中介設備支援
    2. 終端設備支援
    應用於:
    - 超潔淨等級無塵室
    - 高真空與薄膜製成

請選擇以下產品類別:

VARIO

優異的SCARA機械手臂加上備受肯定的技術,兩者持續開發下生產出新一代Vario機械手臂。和SCARA一樣,VARIO的驅動力,可在機器手臂沒有動力傳輸的情況下運作,因此不會產生任何造成中斷或損壞機器手臂區域的熱能。

機械特性

  • 低微粒設計
  • 無震動產生
  • 能符合超高潔淨需求
  • 驅動單元具備優異的高動能和最佳的精密度

技術

  • 亞矽機械手臂驅動器能完美應用於高速移動和其移動範圍
  • 能有效增加產能,減少品質劣化
  • 能與所有常見的PLC(Programmable Logic Controller) 運作和匯流排系統進行通訊

VARIO機械手臂能適用於真空系統與大氣(非真空)系統,兩者皆具有相同的優異性,能在UHV (Ultra High Voltage) 範圍內有效執行任何工作。使用最新一代VARIO機械手臂,您可以因應設施中所有關於潔淨、動能、精密、真空技術和控制整合領域的難題。

JUMBO

JUMBO是全球半導體領域中,最大與最堅固的機械手臂,除了有出色的規格、範圍和負載量之外,更具備傑出的動能和精密度。

機械特性

  • 超潔淨標準需求
  • 不會排放可追蹤的碳氫化合物
  • 無震動產生
  • 在ISO 5等級的潔淨室中完成組裝和測試
  • 驅動單元具備優異的高動能和最佳的精密度

技術

  • 亞矽機械手臂驅動器能完美應用於高速移動和其移動範圍
  • 能有效增加產能,減少品質劣化
  • 能與所有常見的PLC運作和匯流排系統進行通訊
  • 機械手臂可依客戶的控制裝置來操作

JUMBO也適用於大氣(非真空)系統和真空環境。兩種皆具相同的負載量、動能和精密度。真空機械手臂能無限制地在UHV環境中運作,而且不會排放任何碳氫化合物。亞矽機械手臂具有德國製造的優良品質,無論在半導體、太陽能或生命科學領域,您都可以放心與廣泛地運用。

PARALINER

PARALINER是我們最新開發的成果。此系統的機械手臂採線性引導夾爪介面設計,運作方式與SCARA相同,導引滑動架藉由泵桿沿著線性軌道移動,能確保在徑向方向中維持高精準度的線性移動。

機械特性

  • 與其他亞矽機械手臂一樣,驅動引擎位於處理工作區外部,以將熱能降至最低
  • 基於亞矽的基本原則,PARALINER不允許處理區域中的任何晶圓或基板(太陽能電池、觸控螢幕、半導體等)彼此交叉移動,以免造成零件污染
  • 兩種晶圓或基板可繞行同一區域移動
  • 機械手臂可移動範圍高於450mm晶圓的SEMI標準
  • 基質的重量不會影響運作,PARALINER能毫不費力地在其線性軌道上運送極重的零件
  • 在ISO 5等級的潔淨室中完成組裝和測試

技術

  • 亞矽機械手臂驅動器能完美應用於高速移動和其移動範圍
  • 能有效增加產能,減少品質劣化
  • 能與所有常見的PLC運作和匯流排系統進行通訊

PARALINER同時提供大氣(非真空)及真空版本。若將PARALINER搭配我們的極性真空室使用,其表現絕對超出所有潔淨和操作安全領域的期望水準。

SCARA

SCARA機械手臂耐用可靠,過去15年深受用戶肯定,因此更激勵我們持續不斷開發、改善功能,至今,它仍是亞矽表現最好、效能最佳的機械手臂。

機械特性

  • 已在全球售出超過4000部機械手臂
  • 持續不斷的研究和開發
  • SCARA提供向下相容性的更新。新客戶不僅能享受此資訊的 好處,使用舊版機械手臂的客戶也能存取並套用此一實用資訊
  • 基本驅動元件可針對各種不同的Z移動量組裝,增加工作空間
  • 機器手臂長度可更換,讓客戶應用更廣泛

技術

  • 亞矽機械手臂驅動器能完美應用於高速移動和其移動範圍
  • 能有效增加產能,減少品質劣化
  • 能與所有常見的PLC運作和匯流排系統進行通訊

SCARA高度可靠性及多種組合方式,一直是我們全球銷量最好的產品。SCARA機械手臂以模組化系統為基礎,可使用許多不同方式來設定,原始設計之初即可在大氣(非真空)或真空的環境使用,而此原始版本還能依客戶的需求調整。甚至,SCARA機械手臂已取得認證,可在ISO3潔淨室中運作。