产品资讯

专业,始于最精准的解答

  • 亚矽的机器手臂适用于:

    1. 超洁净等级无尘室
    2. 高真空
    3. 超高真空

  • MICRONICFABS®

    1. 中介设备支援
    2. 终端设备支援
    应用于:
    - 超洁净等级无尘室
    - 高真空与薄膜制成

请选择以下产品类别:

VARIO

优异的SCARA机械手臂加上备受肯定的技术,两者持续开发下生产出新一代Vario机械手臂。和SCARA一样,VARIO的驱动力,可在机器手臂没有动力传输的情况下运作,因此不会产生任何造成中断或损坏机器手臂区域的热能。

机械特性

  • 低微粒设计
  • 无震动产生
  • 能符合超高洁净要求
  • 驱动单元具备优异的高动能和最佳的精密度

技术

  • 亚矽机械手臂驱动器能完美应用于高速移动和其移动范围
  • 能有效增加产能,减少品质劣化
  • 能与所有常见的PLC(Programmable Logic Controller) 运作和汇流排系统进行通讯

VARIO机械手臂能适用于真空系统与大气(非真空)系统,两者皆具有相同的优异性,能在UHV (Ultra High Voltage) 范围内有效执行任何工作。使用最新一代VARIO机械手臂,您可以因应设施中所有关于洁净、动能、精密、真空技术和控制整合领域的难题。

JUMBO

JUMBO是全球半导体领域中,最大与最坚固的机械手臂,除了有出色的规格、范围和负载量之外,更具备杰出的动能和精密度。

机械特性

  • 超洁净标准需求
  • 不会排放可追踪的碳氢化合物
  • 无震动产生
  • 在ISO 5等级的洁净室中完成组装和测试
  • 驱动单元具备优异的高动能和最佳的精密度

技术

  • 亚矽机械手臂驱动器能完美应用于高速移动和其移动范围
  • 能有效增加产能,减少品质劣化
  • 能与所有常见的PLC运作和汇流排系统进行通讯
  • 机械手臂可依客户的控制装置来操作

JUMBO也适用于大气(非真空)系统和真空环境。两种皆具相同的负载量、动能和精密度。真空机械手臂能无限制地在UHV环境中运作,而且不会排放任何碳氢化合物。亚矽机械手臂具有德国制造的优良品质,无论在半导体、太阳能或生命科学领域,您都可以放心与广泛地运用。

PARALINER

PARALINER是我们最新开发的成果。此系统的机械手臂采线性引导夹爪介面设计,运作方式与SCARA相同,导引滑动架藉由泵杆沿着线性轨道移动,能确保在径向方向中维持高精准度的线性移动。

机械特性

  • 与其他亚矽机械手臂一样,驱动引擎位于处理工作区外部,以将热能降至最低
  • 基于亚矽的基本原则,PARALINER不允许处理区域中的任何晶圆或基板(太阳能电池、触控萤幕、半导体等)彼此交叉移动,以免造成零件污染
  • 两种晶圆或基板可绕行同一区域移动
  • 机械手臂可移动范围高于450mm晶圆的SEMI标准
  • 基质的重量不会影响运作,PARALINER能毫不费力地在其线性轨道上运送极重的零件
  • 在ISO 5等级的洁净室中完成组装和测试

技术

  • 亚矽机械手臂驱动器能完美应用于高速移动和其移动范围
  • 能有效增加产能,减少品质劣化
  • 能与所有常见的PLC运作和汇流排系统进行通讯

PARALINER同时提供大气(非真空)及真空版本。若将PARALINER搭配我们的极性真空室使用,其表现绝对超出所有洁净和操作安全领域的期望水准。

SCARA

SCARA机械手臂耐用可靠,过去15年深受用户肯定,因此更激励我们持续不断开发、改善功能,至今,它仍是亚矽表现最好、效能最佳的机械手臂。

机械特性

  • 已在全球售出超过4000部机械手臂
  • 持续不断的研究和开发
  • SCARA提供向下相容性的更新。新客户不仅能享受此资讯的好处,使用旧版机械手臂的客户也能存取并套用此一实用资讯
  • 基本驱动元件可针对各种不同的Z移动量组装,增加工作空间
  • 机器手臂长度可更换,让客户应用更广泛

技术

  • 亚矽机械手臂驱动器能完美应用于高速移动和其移动范围
  • 能有效增加产能,减少品质劣化
  • 能与所有常见的PLC运作和汇流排系统进行通讯

SCARA高度可靠性及多种组合方式,一直是我们全球销量最好的产品。 SCARA机械手臂以模组化系统为基础,可使用许多不同方式来设定,原始设计之初即可在大气(非真空)或真空的环境使用,而此原始版本还能依客户的需求调整。甚至,SCARA机械手臂已取得认证,可在ISO3洁净室中运作。