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亚矽的机器手臂适用于：
1. 超洁净等级无尘室
2. 高真空
3. 超高真空 -
MICRONICFABS®
1. 中介设备支援
2. 终端设备支援
应用于：
- 超洁净等级无尘室
- 高真空与薄膜制成
产品资讯
请选择以下产品类别：
VARIO
优异的SCARA机械手臂加上备受肯定的技术，两者持续开发下生产出新一代Vario机械手臂。和SCARA一样，VARIO的驱动力，可在机器手臂没有动力传输的情况下运作，因此不会产生任何造成中断或损坏机器手臂区域的热能。
机械特性
- 低微粒设计
- 无震动产生
- 能符合超高洁净要求
- 驱动单元具备优异的高动能和最佳的精密度
技术
- 亚矽机械手臂驱动器能完美应用于高速移动和其移动范围
- 能有效增加产能，减少品质劣化
- 能与所有常见的PLC(Programmable Logic Controller) 运作和汇流排系统进行通讯
VARIO机械手臂能适用于真空系统与大气(非真空)系统，两者皆具有相同的优异性，能在UHV (Ultra High Voltage) 范围内有效执行任何工作。使用最新一代VARIO机械手臂，您可以因应设施中所有关于洁净、动能、精密、真空技术和控制整合领域的难题。
JUMBO
JUMBO是全球半导体领域中，最大与最坚固的机械手臂，除了有出色的规格、范围和负载量之外，更具备杰出的动能和精密度。
机械特性
- 超洁净标准需求
- 不会排放可追踪的碳氢化合物
- 无震动产生
- 在ISO 5等级的洁净室中完成组装和测试
- 驱动单元具备优异的高动能和最佳的精密度
技术
- 亚矽机械手臂驱动器能完美应用于高速移动和其移动范围
- 能有效增加产能，减少品质劣化
- 能与所有常见的PLC运作和汇流排系统进行通讯
- 机械手臂可依客户的控制装置来操作
JUMBO也适用于大气(非真空)系统和真空环境。两种皆具相同的负载量、动能和精密度。真空机械手臂能无限制地在UHV环境中运作，而且不会排放任何碳氢化合物。亚矽机械手臂具有德国制造的优良品质，无论在半导体、太阳能或生命科学领域，您都可以放心与广泛地运用。
SCARA
SCARA机械手臂耐用可靠，过去15年深受用户肯定，因此更激励我们持续不断开发、改善功能，至今，它仍是亚矽表现最好、效能最佳的机械手臂。
机械特性
- 已在全球售出超过4000部机械手臂
- 持续不断的研究和开发
- SCARA提供向下相容性的更新。新客户不仅能享受此资讯的好处，使用旧版机械手臂的客户也能存取并套用此一实用资讯
- 基本驱动元件可针对各种不同的Z移动量组装，增加工作空间
- 机器手臂长度可更换，让客户应用更广泛
技术
- 亚矽机械手臂驱动器能完美应用于高速移动和其移动范围
- 能有效增加产能，减少品质劣化
- 能与所有常见的PLC运作和汇流排系统进行通讯
SCARA高度可靠性及多种组合方式，一直是我们全球销量最好的产品。 SCARA机械手臂以模组化系统为基础，可使用许多不同方式来设定，原始设计之初即可在大气(非真空)或真空的环境使用，而此原始版本还能依客户的需求调整。甚至，SCARA机械手臂已取得认证，可在ISO3洁净室中运作。