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亚矽的机器手臂适用于:
1. 超洁净等级无尘室
2. 高真空
3. 超高真空 -
MICRONICFABS®
1. 中介设备支援
2. 终端设备支援
应用于:
- 超洁净等级无尘室
- 高真空与薄膜制成
1. 超洁净等级无尘室
2. 高真空
3. 超高真空
1. 中介设备支援
2. 终端设备支援
应用于:
- 超洁净等级无尘室
- 高真空与薄膜制成
请选择以下产品类别:
优异的SCARA机械手臂加上备受肯定的技术,两者持续开发下生产出新一代Vario机械手臂。和SCARA一样,VARIO的驱动力,可在机器手臂没有动力传输的情况下运作,因此不会产生任何造成中断或损坏机器手臂区域的热能。
VARIO机械手臂能适用于真空系统与大气(非真空)系统,两者皆具有相同的优异性,能在UHV (Ultra High Voltage) 范围内有效执行任何工作。使用最新一代VARIO机械手臂,您可以因应设施中所有关于洁净、动能、精密、真空技术和控制整合领域的难题。
JUMBO是全球半导体领域中,最大与最坚固的机械手臂,除了有出色的规格、范围和负载量之外,更具备杰出的动能和精密度。
JUMBO也适用于大气(非真空)系统和真空环境。两种皆具相同的负载量、动能和精密度。真空机械手臂能无限制地在UHV环境中运作,而且不会排放任何碳氢化合物。亚矽机械手臂具有德国制造的优良品质,无论在半导体、太阳能或生命科学领域,您都可以放心与广泛地运用。
SCARA机械手臂耐用可靠,过去15年深受用户肯定,因此更激励我们持续不断开发、改善功能,至今,它仍是亚矽表现最好、效能最佳的机械手臂。
SCARA高度可靠性及多种组合方式,一直是我们全球销量最好的产品。 SCARA机械手臂以模组化系统为基础,可使用许多不同方式来设定,原始设计之初即可在大气(非真空)或真空的环境使用,而此原始版本还能依客户的需求调整。甚至,SCARA机械手臂已取得认证,可在ISO3洁净室中运作。