产品资讯

专业,始于最精准的解答

  • 亚矽的机器手臂适用于:

    1. 超洁净等级无尘室
    2. 高真空
    3. 超高真空

  • MICRONICFABS®

    1. 中介设备支援
    2. 终端设备支援
    应用于:
    - 超洁净等级无尘室
    - 高真空与薄膜制成

请选择以下产品类别:

亚矽集团在真空处理领域具有多年经验。 20年前,我们就已开发、打造和销售第一组亚矽真空泵浦。因为优良的品质,某些系统甚至到今天都还在使用。而现今的新系统也能从丰富的经验中获益良多。而我们将多年累积的知识与现代技术相互结合,不断提供更完美调校的系统。

亚矽真空系统—特点:
  • 真空平台具有最高洁净标准的特性
  • 我们从一开始就为模组化结构提供妥善规划的维护和服务品质
  • 亚矽真空平台配​​备泵浦和阀座
  • 亚矽真空平台能将制程模组运作所需的绝大多数类型媒介整合至系统中
    我们特别致力于减少开放式多芯电缆和配线的数目,让系统更容易管理,配置也能一目了然
    整合式概念能让我们的客户更容易设定及学习产品。

终端设备支援(Polar Provider)

亚矽Polar Provider最多可容纳四个制程模组。依真空室大小不同,最多可将450mm的基质整合至系统中。 Polar Provider到装料站(设备前端模组= EFEM)之间的连线,是透过2个传送室(分别位于室和EFEM之间)建立。若有需要,可将对准机整合至传送室。晶圆或基板的传送是由ASYS Paraliner所驱动,并在真空室内进行。

中介设备支援 (Linear Provider)

在真空技术领域,另一项重要元件是线性设计的真空室。此一新概念尤适用于>300mm的基质,并可结合多个线性真空室组成丛集。线性真空室的基本原理是一疏运隧道,制程品以纵向安置于通道两侧。亚矽机械手臂在隧道内部,沿着线性轴水平移动。亦可使用与Polar Provider相同的方式,与装料站建立连线。

两种系统各有独特的优点。 Polar Provider能以低成本达成高产能。对于每个真空室不需要四个以上制程模组的客户来说尤具吸引力。另一方面,Linear Provider则具有可容纳远超过四个制程室的优点和能力。 Linear Provider可提供四个以上的制程连线,安装介面较小,能创造出40%的空间,因此在考量到洁净室的高成本时,这项特点尤为重要。