產品資訊

專業,始於最精準的解答

  • 亞矽的機器手臂適用於:

    1. 超潔淨等級無塵室
    2. 高真空
    3. 超高真空

  • MICRONICFABS®

    1. 中介設備支援
    2. 終端設備支援
    應用於:
    - 超潔淨等級無塵室
    - 高真空與薄膜製成

請選擇以下產品類別:

亞矽集團在真空處理領域具有多年經驗。20年前,我們就已開發、打造和銷售第一組亞矽真空泵浦。因為優良的品質,某些系統甚至到今天都還在使用。而現今的新系統也能從豐富的經驗中獲益良多。而我們將多年累積的知識與現代技術相互結合,不斷提供更完美調校的系統。

亞矽真空系統—特點:
  • 真空平台具有最高潔淨標準的特性
  • 我們從一開始就為模組化結構提供妥善規劃的維護和服務品質
  • 亞矽真空平台配備泵浦和閥座
  • 亞矽真空平台能將製程模組運作所需的絕大多數類型媒介整合至系統中
    我們特別致力於減少開放式多芯電纜和配線的數目,讓系統更容易管理,配置也能一目瞭然
    整合式概念能讓我們的客戶更容易設定及學習產品

終端設備支援(Polar Provider)

亞矽Polar Provider最多可容納四個製程模組。依真空室大小不同,最多可將450mm的基質整合至系統中。Polar Provider到裝料站(設備前端模組 = EFEM)之間的連線,是透過2個傳送室(分別位於室和 EFEM之間)建立。若有需要,可將對準機整合 至傳送室。晶圓或基板的傳送是由ASYS Paraliner所驅動,並在真空室內進行。

中介設備支援 (Linear Provider)

在真空技術領域,另一項重要元件是線性設計的真空室。此一新概念尤適用於>300mm的基質,並可結合多個線性真空室組成叢集。線性真空室的基本原理是一疏運隧道,製程品以縱向安置於通道兩側。亞矽機械手臂在隧道內部,沿著線性軸水平移動。亦可使用與Polar Provider相同的方式,與裝料站建立連線。

兩種系統各有獨特的優點。Polar Provider能以低成本達成高產能。對於每個真空室不需要四個以上製程模組的客戶來說尤具吸引力。另一方面,Linear Provider則具有可容納遠超過四個製程室的優點和能力。Linear Provider可提供四個以上的製程連線,安裝介面較小,能創造出40%的空間,因此在考量到潔淨室的高成本時,這項特點尤為重要。